Az ellenállásmérés pontosságát a mérési kapcsolás, a mérőáram, a hőmérséklet és a szigetelési viszonyok együttesen határozzák meg.
Két- és négyvezetékes mérés
A kétvezetékes kapcsolás tartalmazza a vezetékek és érintkezések ellenállását. Négyvezetékes mérésnél az áram- és feszültségvezetékek szétválasztása jelentősen csökkenti ezt a hibát.
Önmelegedés
A mérőáram teljesítményt disszipál az ellenállásban. A keletkező hőmérséklet-emelkedés az ellenállás hőmérsékleti együtthatóján keresztül mérési eltérést okoz.
Kis ellenállások
Mikroohm tartományban a termofeszültségek, kontaktusok és geometria meghatározóak. Áramfordításos eljárás alkalmazható a termoelektromos komponens csökkentésére.
Nagy ellenállások
Megohm és gigaohm tartományban a felületi szivárgás, páratartalom, árnyékolás és guard technika válik kritikus tényezővé.
Környezeti korrekció
Nagy pontosságú etalonoknál a referencia-hőmérsékletre történő korrekciót és annak bizonytalanságát dokumentálni kell.
A kalibrálási programnak igazolnia kell, hogy a kiválasztott funkciók, tartományok és mérési pontok megfelelnek a tényleges használatnak, és az eredményekhez tartozó bizonytalanság alkalmas a döntési feladatra.